Alicat的质量流量计系列是高性能的仪表,可同时提供范围和灵活性。流速从0.0025 sccm到5000 slpm,可通过内置显示屏选择100多种气体,响应时间为4 ms,您将不必担心进行正确的流量测量。
使用一台紧凑型气体流量计,您可以测量质量流量,体积流量,压力和温度。
对于标准质量流量控制器而言,过程太复杂了。Alicat的多向质量流量控制器可以整合到一台仪器中,否则将需要两个或三个独立的设备。
如果您只想控制一个方向的流量,请选择MCT系列,但是您需要在下游切换流量源或目的地。位于上游,下游或两个位置的双阀可帮助您更有效地管理流程。
产品特点:
● 数字化产品
● 多参数显示和输出:温度、压力、流量等
● 多参数控制,如体积流量、质量流量和压力
● 标配三种控制方式:数字、模拟和本地面板
● 可选高精度:优于0.5%
● 高量程比 200:1
● 响应时间快 仅需100ms
● 内置98种气体
● 可现场标定混合气体,并存储20种混合气
应用:
● 大学/研究所
● 环境监测
● 真空行业及镀膜
● 工业炉窑
● 半导体
● 汽车制造
● 光伏
● 燃料电池
● 计量
● 过程工艺气体测量