iXL 高性能干式真空泵机组

iXL 系列干泵满足 平板显示器 (FPD)、半导体和太阳能制造市场 领域涉及的所有排气要求。

这些性能领先的 泵旨在最大限度地提高基板吞吐量，同时尽可能降低功耗、 占地面积和重量。此外，大修间隔期内无须 维护。

iXL120：紧凑型低能量的 110 m3/h 干泵，用于晶圆加工和其他清洁工作应用。它可 快速抽空负载锁定舱室，能耗极低。可 用于负载锁定和清洁应用的最小且最轻的泵之一。 其低振动和低噪声级的优点使其适合于安装在机台上或 工厂的夹心层中，从而有助于节省宝贵的工厂地面空间。环保 模式可在空闲期间降低设备使用率，从而降低使用成本， 有助于保护环境。