KOFLOC 3660 质量流量控制器
配备流量传感器，采用改进的恒流温差检测方法，实现高速响应
采用常闭阀门，方向操作安全
通过电磁执行器确保高可靠性
燃气控制的低压差规格（LP选项：仅限3660）
采用常闭阀门，方向操作安全
通过电磁执行器确保高可靠性
燃气控制的低压差规格（LP选项：仅限3660）
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KOFLOC 3660 质量流量控制器
从大学和研究机构的研发应用中，我们作为各种分析仪器和真空设备的标准模型取得了许多成就，我们有各种衍生模型和选项。
模型 3660 3665 流量范围
（N2转换20°C / 1 ATM）10SCCM~20SLM（可选） 30SLM~100SLM（可选） 传感器方式 热绕组传感器 阀门方法 比例螺线管阀门（未通电时关闭） 控制范围（* 1） 2~100％（F.S.） 5~100％（F.S.） 响应速度 在2秒内
（在±2％F.S.内）在3秒内
（在±2％F.S.内）准确性 ±1.0％F.S.（25°C） ±1.5％F.S.（25°C） 温度系数 ±0.1％F.S./°C（15~35°C） ±0.2％F.S./°C（15~35°C） 再现性 ±0.5%F.S. 操作压差 F.S.≤5SLM 50~300 kPa（G） F.S.≤50SLM 150~300 kPa（G） F. S.> 5 SLM 100~300 kPa（G） F. S.> 50 SLM 200~300 kPa（G） 可选：中压差压规格（MP），低压差规格（LP）可根据条件制造 压力（* 1） 980kPa（G） He泄漏率（* 2） 1 x 10-8 Pa.m3/s以下 允许周围温度 5~45℃ 允许环境湿度 10~90%RH（无结露） 气体接触材料 主体SUS316，SUS316L，磁性不锈钢 阀座FKM（选件CR或NBR） 密封材料FKM（选件CR或NBR） 电气连接 Dsub 9针KFC标准（符合SEMI标准） 流量设定
输入信号0~5VDC
（输入阻抗1MΩ以上）流量输出信号 0~5 VDC（外部负载电阻250kΩ以上） 所需电源 +15 VDC（±5％）100 mA，。15 VDC（±5％）250 mA 接头
（体型）标准1 / 4F900
（9 / 16.18 UNF）
选项1/8 F900,1 / 4 UJR，Rc1 / 4等标准3 / 8F 900
（9 / 16.18 UNF）
选项1 / 2F 900,3 / 8 UJR，Rc 3/8等重量 约1000g 约1500g -
