KOFLOC 数字质量流量控制器 DF-200

KOFLOC DF-200 质量流量控制器

DF-200系列是一款高性能数字质量流量控制器，可在1秒（全范围）内实现±1％SP的精度和响应。 此外，它兼容多气体和多量程，可轻松更换包括参考气体在内的7种气体及其流量范围，使其成为具有出色通用性的产品。

传感器方式    热绕组传感器
阀门方式    比例电磁阀（未通电时关闭）
目标气体（* 1）    多气体：
N2（空气，H2，He，Ar，O2，CO2）（* 2）
流量范围（* 3）    10/30/50/100/300/500 SCCM，1/3/5/10 SLM（* 2）
控制范围    2至100％（F.S.）
反应能力（* 4）    总流量控制范围在1秒内（±2％F.S.）
L：50kPa~149kPa　H:150kPa~300kPa
精度（* 5）    ±1.0％SP（> 35％F。S.），
±0.35％F。S.（≦35％F。S.）
再现性    ±0.25％FS
工作压差（* 6）    50至300 kPa（Ar，CO2：100.300 kPa）
最大入口压力    500kPa（G）
耐压    980kPa（G）
He泄漏率（* 7）    1 x 10-8 Pa.m3 / sec以下
温度    允许周围温度    5～50℃
精度保证温度    15～35℃
允许储存温度    -10～60℃
允许环境湿度    10～90%RH （无结露）
气体接触材料    SUS316，SUS316L，磁性不锈钢，Ni，PTFE，PCTFE，FKM
电气连接    D-sub 9针KFC标准（符合SEMI标准），RJ-45模块化插孔x 2
流量设定信号    0至5 VDC（输入阻抗约1MΩ）
流量输出信号    0至5 VDC（负载电阻10kΩ或更高）
数字通信    使用RS485旋转开关设置地址：最多99（9600 bps）
所需电源（DC）    +15 VDC（±5％）：150 mA，-15 VDC（±5％）：150 mA
接头（* 8）    1 / 4F 900（标准），1/4 UJR，Rc1 / 4
安装姿势    推荐水平方向
重量（* 9）    约850g