普发PFEIFFER Adixen ACP28 / ACP28G 多级罗茨式干泵
ACP 系列的无油多级罗茨泵，SD 机型，带最高 28 m3/h 抽吸能力
由于无摩擦设计而不会受到颗粒的污染：在气体输送路径中不存在磨损件
无烃类蒸汽的回流：ACP 系列的泵对于泵模块是无润滑剂
恒定功率（抽吸能力，最高持续进气压力和最终压力）
可靠性高：自 1988 年以来我们使用无油罗茨泵的经验
维护成本低：无年服务，对于 ACP 28/40，完整大修仅每 22000 小时一次
适用于冷凝蒸汽：气镇和带有排出口螺塞的消声器。ACP 系列泵可以输送纯净水蒸气达 1000 g/h
由于无摩擦设计而不会受到颗粒的污染：在气体输送路径中不存在磨损件
无烃类蒸汽的回流：ACP 系列的泵对于泵模块是无润滑剂
恒定功率（抽吸能力，最高持续进气压力和最终压力）
可靠性高：自 1988 年以来我们使用无油罗茨泵的经验
维护成本低：无年服务，对于 ACP 28/40，完整大修仅每 22000 小时一次
适用于冷凝蒸汽：气镇和带有排出口螺塞的消声器。ACP 系列泵可以输送纯净水蒸气达 1000 g/h
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ACP 系列中的风冷多级罗茨泵
ACP 系列的多级罗茨泵是专为无油无颗粒的应用工艺而设计，压力范围在大气压到 3 · 10-2 hPa 之间。在用于残余气体分析系统、电子显微镜或 UHV 系统中时，该气冷泵是旋片泵的最佳取代产品。它们可作为涡轮分子泵的理想粗真空泵。
G 型号系列真空泵是专为传输少量腐蚀性气体而特殊研发设计的。该版本的ACP系列真空泵适用于传送腔、工艺监测系统及离子束应用中。 ACP 系列产品中，CV 型号的风冷真空泵具有高达 1,000 g/h的水蒸汽容量。该系列产品是专为避免泵体内的蒸汽冷凝而设计的。应用
Load-lock
传送腔
溅射
PVD
计量
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