隔膜真空泵工作原理

设计/工作原理

隔膜真空泵是干式正排量泵。曲轴驱动的连杆 (4) 移动在头 盖 (2) 和壳体 (3) 之间张紧的隔膜 (1)。头盖和隔膜之间的空 间形成吸入室 (5)。隔膜泵需要入口阀和出口阀 (6) 以实现目 标气体排量。由弹性体材料制成的压力控制断流阀用作此 阀。由于吸入室通过各隔膜与驱动器严密密封开来，泵介质 不会受到油的污染，侵蚀性介质也不会腐蚀机械结构。出口 阀和吸入室之间的固定空间产生一个受限制的压缩比，这意 味着，只要一个抽吸阶段就可实现约 70 hPa 的极限压力。 串联连接的多个抽吸阶段使实现 0.5 hPa 的极限压力称为可 能。较低的压力无法实现，因为在这种情况下，不再有足够 的力用于打开入口阀。隔膜泵的原理特别适合于大约 10 m³· h^-1的低抽速。

应用

其无烃的吸入室使隔膜泵特别适合作为具有 Holweck 阶段的 涡轮分子泵的前级泵。甚至两极隔膜泵可实现极限压力大约 为 5 hPa。对于 Holweck 涡轮分子泵的前级泵，这已足够 了。清洁真空特别利于分析和研发应用。无气镇，隔膜泵也 不置换水蒸气。即使高真空设备壁解吸的少量水蒸气也可以 使隔膜泵的极限压力急剧上升。然而，一些隔膜泵配备了气 镇阀，该阀根据专利方法操作。为此，允许气体进入两极隔 膜泵第一级和第二级之间的连接通道，而且这通过一个小孔 与第一级的吸入室连接。

隔膜泵的性能数据

如果较大量的水分聚集且使用无气镇的隔膜泵，则必须在上 游连接合适的分离器或冷却陷阱，以防止在泵中形成大量的 冷凝物。但是极限压力将会增高。

产品组合概览

普发真的隔膜泵在其极限压力、抽速和其抽吸腐蚀性气体的 稳定性上各不相同。这类泵的抽速在 3 和 3 and 160 l · min^-1 (0.25 to 9.6 m³· h^-1)之间。两极泵可实现极限压力低于 4 hPa， 四级泵可实现极限压力低于 0.5 hPa。其抽速和可达到的最终 压力取决于电源频率。

具有涂层隔膜和耐腐蚀壳体的腐蚀性气体泵型号适用于抽吸 腐蚀性气体。

泵的命名选择这样的方式以用 l · min^-1 表示抽速以及表示抽 吸阶段的数量。腐蚀性气体泵在其型号命名上以字母 C 作为 后缀。

配件

以下配件适用于隔膜泵：

• 旋入式法兰和法兰适配器
• 净化气体连接件
• 前真空继电器箱
• 壁电源包或标准导轨安装
• 涡轮分子泵驱动器连接电缆
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